goback
月期刊咨询网
当前位置:首页>>工业设计论文>>正文

工业设计论文二氧化硅干法刻蚀倾角控制的工艺研究


所属栏目:工业设计论文
发布时间:2014-04-18 09:29:45  更新时间:2014-04-18 09:06:45

已签订领域:化学工程/制药,医学题目:**作为抗癌剂***催化剂**取代苯丙***SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:环境科学-公共卫生题目:用**电***生物传感器**癌症**SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:环境科学-公共卫生题目:**氧化石墨烯纳米***材料的生物传感器***结肠癌生物**癌胚****SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:环境科学-公共卫生题目:聚合物纳米***a-硫辛酸***在神经炎症***应用***临床分析SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机视觉/遥感/智能驾驶/汽车题目:**深度学习***高分辨率遥感***车辆检***SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:企业管理题目:社会交流***领导***倾向***方向SSCI,SCI三区,二区 直击了解更多选题

已签订领域:企业管理题目:**中小企业社交媒体****可持续绩效***因素探析SSCI,SCI三区,二区 直击了解更多选题

已签订领域:环境科学,公共卫生题目:利用硫氨酸***石墨烯纳米***电化学***传感器实现癌胚抗原***SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:环境科学,公共卫生题目:基于抗***纳米复合***高性能***早起癌症诊断***SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,能源题目:***政治冲突****绿色金融、金融**、气***化***SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,能源题目:冲***中能源不安全对***和环境***SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:教育题目:大学生***社交媒体***成绩影响***SSCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:教育题目:巴基斯坦***学习实施的***的**SSCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:教育题目:大学生对****下网络教学**思***SSCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:教育题目:**教师和学生对影响***医疗**效果的****看法SSCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:计量经济学题目:**货币、黄金、**和美国***的波动***相互依赖性:**数据的分析SSCI一区 直击了解更多选题

已签订领域:计量经济学题目:东南亚***内**趋同***中等收入**:新**的***SSCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:建筑,历史题目:历史景点在***旅游发***中的***影响**(**研究:**历史***)SSCI,SCI一区 直击了解更多选题

已签订领域:领导力,管理题目:量化**领导对角色绩效***响:**冲突与工作自主性***作用SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:信息技术,教育题目:数字***环境对学生学习成绩***:游戏**和***现实在教育***作用SSCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:信息技术,教育题目:信息技术***续决策之间的***:创新***识的**作用SSCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:信息技术,教育题目:课程**对大学生***发展的影响:学习习惯和***的***作用SSCI一区 直击了解更多选题

已签订领域:信息技术,教育题目:信息技术***与可持续决策**:高等***学生认知***作用SSCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,英语教学题目:英语****学**与人工智能****学习SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,音乐题目:评价**和音乐**对学生成绩***的影响SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:人体工程,心理学题目:基于预先处理模型***模式人体工程学***女生肌肉骨骼***预防行为*** 直击了解更多选题

已签订领域:人体工程,心理学题目:制定一个***人体工程学**,以识别、优先考虑***职业压力源的*** 直击了解更多选题

已签订领域:人体工程,心理学题目:多重工作**压力和工作***:***工效学方法的混合方法*** 直击了解更多选题

已签订领域:数学,经济题目:数学模型***结构调整和经济转型****研究 直击了解更多选题

已签订领域:数学,经济题目:***时间**数学模型在***媒体营销**中的应用*** 直击了解更多选题

已签订领域:数学,经济题目:***时间**模型在***物流运**能力***研究 直击了解更多选题

已签订领域:数学,经济题目:碳****经济的数学模型****研究 直击了解更多选题

已签订领域:农村经济题目:农****社区**发展***分**SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:农村经济题目:创业***对乡村****发展的****SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:农村经济题目:农村创业****的空间*****究SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:纳米颗粒*****及其在癌症****和重金属*****检测中的应用SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:基于*****前列腺癌药物氟****检测方法的*****腺癌治疗SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:气海***********金纳米颗粒的新型****************粘土及其对胃癌********************抗癌SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:基于抗***********GCE纳米***********材料的高性能*******************早期癌症SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:用******电化学生物传感器*****癌症***************SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:基于*****石墨烯纳米****材料的生物传感******用于测定结肠*****生物*****SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:聚合***纳米复合电极*****疏辛酸电化学检测*********SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:医学,电化学题目:利用****酸/**糖**石墨烯纳米复合修饰的电化学*****SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:环境能源,绿色投资题目:环境能源、绿色投资、城市化和环境类方向SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,英语教学题目:英语教学**人工智能***习SCI 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,音乐题目:评价**和音乐形式*学生***影响SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,绿色投资题目:***能源效率***化之间的***SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:经济政策题目:***阐明**印度经济***的关系SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,金融题目:***国家的能源***重***SCI 直击了解更多选题

已签订领域:经济,金融投资题目:***融新之间***直接投资***SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,数学,统计学,管理学题目:非***想重限制下***袭评价***SSCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:经济,数字,管理学题目:基干***生产系统***SSCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:农业,土壤科学题目:不同***有机覆盖***养分循环SSCI 直击了解更多选题

已签订领域:电力与能源系统,管理题目:pv***氢定价的***随***型稀SSCI,SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:建筑规划,计算机题目:使用***因子分析法***可持续***SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:工程技术,纺织工程,材料科学题目:甘***淀粉酶的提取***退浆中的应用SCI四区 直击了解更多选题

已签订领域:渔业,鱼类生理学题目:饲料***镉毒性的交互***生长***病理学***SCI二区 直击了解更多选题

已签订领域:渔业,鱼类生理学题目:****鱼水源***起的生******SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:金融,环境经济题目:*****预算在能效、绿色***的作用SCI 直击了解更多选题

已签订领域:应用数学/计算物理题目:***非线性库***自相位调制***SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,医学检测题目:***COVID-19***力***算法***决策SCI三区 直击了解更多选题

已签订领域:计算机,物联网,智慧城市题目:基于***物联网****算法SCI三区 直击了解更多选题

  干法刻蚀技术主要用于对基片进行精确加工,例如刻蚀掩膜、离子注入掩膜、终端结构成型等等。基片上的不同刻蚀结构,取决于不同的刻蚀倾角。随着半导体的发展,器件性能对二氧化硅的刻蚀工艺越来越严格,特别是垂直和平缓的倾角不易加工成型。

  【摘要】采用反应离子体刻蚀机结合CHF3+SF6+O2混合气体[1,2]刻蚀二氧化硅的工艺研究,并且采用正交试验方法[3]调整刻蚀参数,得出影响刻蚀倾角的主要因素是CHF3和SF6。适当增加CHF3流量有助于形成陡直的刻蚀倾角;适当增加SF6流量并减小CHF3流量有助于形成平缓的刻蚀倾角。通过对实验参数进行整体优化处理,最终实现了垂直、平缓的刻蚀倾角。为采用二氧化硅作为刻蚀掩膜以及终端结构提供了帮助。

  【关键词】二氧化硅,干法刻蚀,刻蚀倾角

  为了改善这个问题,采用反应离子刻蚀(RIE)技术[6-8],对二氧化硅进行刻蚀。刻蚀气体一般选用氟基气体,如:SF6、CHF3或这两者和氧气的混合气体,结合正交试验法找到影响刻蚀倾角的主要因素,并优化工艺参数,刻蚀出垂直、平缓的倾角[5]。

  1.反应离子刻蚀原理(RIE)

  对反应腔中的腐蚀气体,加上大于气体击穿临界值的高频电场,在强电场作用下,被高频电场加速的杂散电子与气体分子或原子进行随机碰撞,当电子能量大到一定程度时,随机碰撞变为非弹性碰撞,产生二次电子发射,它们又进一步与气体分子碰撞,不断激发或电离气体分子。这种激烈碰撞引起电离和复合。当电子的产生和消失过程达到平衡时,放电能继续不断地维持下去。由非弹性碰撞产生的离子、电子及游离基(游离态的原子、分子或原子团)也称为等离子体,具有很强的化学活性,可与被刻蚀样品表面的原子起化学反应,形成挥发性物质,达到腐蚀样品表层的目的。同时,由于阴极附近的电场方向垂直于阴极表面,高能离子在一定的工作压力下,垂直地射向样品表面,进行物理轰击,使得反应离子刻蚀具有很好的各向异性。系统示意图如图1所示。

  3.结果分析

  经过对正交试验的数据进行采集,分析得出影响刻蚀倾角的主要因素是CHF3和SF6两种因子,分别增加CHF3和SF6的流量,刻蚀倾角变化显著。

  然而,O2流量、气压、功率的变化对于刻蚀倾角影响不大。如图2所示的不同因素与刻蚀倾角关系的曲线图。

  如图2所示,随着CHF3的流量增加,刻蚀倾角逐渐增加,这是由于气体CHF3在辉光放电环境下,在SiO2表面沉积一层碳氟薄膜[1],碳氟薄膜中的CFx基团与SiO2接触并反应生成SiFCOx,然后在离子轰击下生成挥发性物质SiF4和COx。当气体CHF3达到一定流量时,同时碳氟薄膜达到一定的厚度,阻碍了CFx基团与SiO2反应,从而刻蚀倾角变化甚微。然而随着SF6的流量增加,当达到4sccm时,气体流量达到饱和状态,刻蚀倾角达到了73o,如果继续加大气体流量,此时的工艺气体达到了过饱和状态,导致辉光放电产生的离子过盛,增加反应粒子之间的碰撞,从而使这些原本轰击SiO2表面的反应粒子失去较多的能量,削弱了粒子对SiO2的物理轰击作用。与此同时,增大反应气体流量,抽走的活性物质也会加快,导致部分反应粒子未与SiO2反应,便与废气一起抽走,从而刻蚀倾角难以形成。

  通过对正交数据进行优化处理,主要调整CHF3和SF6的流量,其他因素进行微调,最终可以实现垂直的刻蚀倾角和平缓的刻蚀倾角。

  如图3所示,在大流量CHF3的刻蚀下,最终SiO2被加工出90.96°近似垂直的刻蚀倾角;如图4所示,加大SF6的流量,并且减小CHF3的流量,SiO2刻蚀区域得到了162.60°平缓的刻蚀倾角。

  4.结论

  在反应离子刻蚀中,影响二氧化硅刻蚀倾角的主要因素是气体CHF3和气体SF6。通过工艺优化,增加一定流量的气体CHF3可以加工出垂直侧壁;增大一定流量的气体SF3并且减小CHF3的流量,可以加工出平缓侧壁。证明了倾角在一定范围内是可控的。

  参考文献

  [1]严剑飞,袁凯,太惠玲,吴志明.二氧化硅的干法刻蚀工艺研究[J].微机处理,1002-2279(2010)02-0016-0.

  [2]郝慧娟,张玉林,卢文娟.二氧化硅的反应离子刻蚀[J].电子工业专业设备,1004-4507(2005)07-0048-04.

  [3]张海峰.二氧化硅等离子刻蚀研究[J].集成电路通讯,2010.06.

  [4]杨玲,杨磊,辛煜.频率组合对容性耦合等离子体SiO2刻蚀的影响[J].苏州大学学报,2010,10.



月期刊平台服务过的文章录用时间为1-3个月,依据20年经验,经月期刊专家预审通过后的文章,投稿通过率100%以上!
  • IF:4.9,录用比例83%,中科院1区TOP《ORGANIC LETTERS》

    2025-06-09
    《 Organic Letters 》是一本在有机化学领域具有较高学术影响力和快速审稿速度的国际顶级期刊。该sci期刊对原创性要求较高,但其录用率高达83%,适合有实力的研究者投稿,具体期刊详情如下: 1、期刊基本信息 期刊ISSN:1523-7060 E-ISSN:1523-7052 2023-2024最新影响
  • sci论文外审三个月还没消息,怎么办?

    2025-06-09
    外审在sci论文审稿过程中最为专业和严格的,而外审是同行专家的评审,审稿周期的长短可能受审稿人数量、审稿人是否愿意接受审稿任务,以及审稿意见是否一致等因素的影响。那么。sci论文外审三个月还没消息,怎么办?可按照以下策略逐步处理: 一、核查目标sci期刊的审
  • 学术干货!SCI/SSCI论文Word和LaTeX格式模板

    2025-06-09
    撰写一篇高质量的SCI/SSCI论文,对于可以人员来说是提升学术影响力的重要途径。为了帮助新手高校掌握SCI/SSCI论文写作技巧,今天在这里为大家汇总整理了 SCI/SSCI论文Word和LaTeX格式模板 的概览和获取途径,供大家参考: 一、SCI/SSCI论文Word格式模板 (一)获取SCI/
  • 医学选刊!好投稿的传染病学sci期刊推荐(附报价和IF)

    2025-06-07
    医学领域sci期刊众多,其中包括传染病学,研究人员在选择期刊之前,务必确保期刊范围与论文研究方向和水平相符。以下是为大家推荐的部分好投稿的传染病学sci期刊,供大家参考: 1、Infectious Diseases Now 中科院:4区 2023-2024自引率:6.90% 年文章数:110 2020-202
  • 好中易投稿的公共卫生、环境卫生与职业卫生SCI期刊(中科院一区TOP)

    2025-06-07
    公共卫生、环境卫生与职业卫生领域方向sci期刊众多,作者可根据单位要求、论文质量和研究方向选择合适的sci期刊投稿。为了帮助作者快速选刊,今天在这里为大家推荐5本 好中易投稿的公共卫生、环境卫生与职业卫生SCI期刊(中科院一区TOP) ,供大家参考: 1、BMJ Global
回到顶部